Научная статья на тему 'Одновременное измерение комплекса параметров одним тензорезистивным датчиком'

Одновременное измерение комплекса параметров одним тензорезистивным датчиком Текст научной статьи по специальности «Электротехника, электронная техника, информационные технологии»

CC BY
77
20
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК / ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ / ТЕНЗОМОСТ / СКВАЖИНА

Аннотация научной статьи по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям, автор научной работы — Краснов А. Н., Коловертнов Г. Ю.

В статье рассмотрена и обоснована возможность использования в стационарных информационно-измерительных системах для скважин с повышенными температурами тензорезистивных мостовых и полумостовых преобразователей на основе структур «кремний на сапфире» для одновременного измерения двух параметров.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям , автор научной работы — Краснов А. Н., Коловертнов Г. Ю.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Текст научной работы на тему «Одновременное измерение комплекса параметров одним тензорезистивным датчиком»

Погрешность измерения давления будет максимальна, когда утечка происходит только между проводами а и Ь или Ь и С .

В этом случае напряжения Ц^ равны:

;Ьс1

Ц

аЬ

-I.(Ку|К+) +1•Ял ;

иЬс1 = I• К- +1• ял .

Погрешность определения приращения АКр определится как

Тая„

АК/ -АК,

(

АЯ„

Р -100% =

Ку||КР - КР

АЛ»

Л

-1

-100% .(11)

На рис.

Уакр = / (ку) • ^ Уакр, % 2

1 0 -1 -2 -3

Рисунок 6

приведен график зависимости

1

2 3 4

Зависимость

5 6 ^ Яу, МОм

7аяр = / (ку) только

между проводами а и Ь, или Ь и с в логарифмических координатах

В этом случае значение погрешности, равное 0,1%, выполнится при условии Ку > 100 МСм. Погрешность

измерения приращения АКу будет максимальна при наличии утечки между проводами а и С линии связи. В этом случае

т'

и'ас = I•[Ку||(кр + К-)] ;

и/ь =

и

К

/ Л

• К- +1 • КЛ

(12)

у У

ш, =

I -

Ца К

/ л

• К- +1 • КЛ ;

у У

Цс2 - I • Ку ■

Погрешность измерения приращения АК определяется:

ак/ -АКт

Г1 и' ^

2 2КУIУ

КР + КР - КРН -1

А

уАК =—т-т- -100% =

гшт ак

(13)

На рис. 7 представлены результаты расчета по этой формуле.

Удкт, % 2

1

0

-1

-2

-3

\

1 2 3 4 5 6 ^Яу, КОм

Рисунок 7 Зависимость Уакт = I(Ку) только между проводами и с в логарифмических координатах

Сравнивая графики, представленные на рис. 4 и 6, можно утверждать, что относительная методи-

ческая погрешность измерения

АК

максимальна,

когда утечка тока происходит между проводами а и Ь или Ь и С и при Ку > 100 МСм не превосходит

0,1%.

Из графиков 5 и 7 следует, что относительная методическая погрешность измерения АКТ максимальна при утечке тока между всеми проводами линии связи и будет меньше 0,1% только при Ку > 100

КОм. Эти зависимости используются при проектировании ИИС давления и температуры.

Таким образом, выявлены основные источники погрешностей предложенных способов измерений. Проанализированы методические погрешности. На величину погрешности ИИС в значительной степени влияет точность и стабильность используемых полупроводниковых тензорезистивных датчиков давления. На основе предложенных структур созданы ИИС с основной погрешностью не более 0,3 - 0,5%.

ЛИТЕРАТУРА

1. Патент № 2096609, РФ, 6 Е 21 В 47/06. Способ дистанционного измерения давления и температуры в скважине одним датчиком давления и устройство для его осуществления / Г.Ю. Коловертнов, А.Н. Краснов, Ю.Д. Коловертнов и др. (Ш). - № 96105228, Заявл. 27.03.96; Опуб. - Бюл. 20.11.97, №32.

2. Коловертнов Г.Ю., Краснов А.Н., Дамрин Е.С. Измерительные схемы скважинных манотермометров с резистивным датчиком давления. В сб. Измерительные преобразователи и информационные технологии. Вып. 1 - Уфа, УГАТУ, 1996. - С. 11 - 18.

3. Коловертнов Ю.Д., Коловертнов Г.Ю., Краснов А.Н. Методы и средства измерений. Учебное пособие. Уфа, 1996. - 105 С.

4. Патент № 2091578, РФ, 7 Е 21 В 47/06. Способ измерения давления и температуры в скважине одним датчиком и устройство для его осуществления / Г.Ю. Коловертнов, Е.С. Дамрин, А.Н. Краснов и др. (Ш). - № 98118802, Заявл. 14.10.98; Опуб. - Бюл. 27.05.1997, №27.

5. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 136 с.

УДК 621.317

Краснов А.Н., Коловертнов Г.Ю.

ФГБСУ ВПС «Уфимский государственный нефтяной технический университет», Уфа, Россия

ОДНОВРЕМЕННОЕ ИЗМЕРЕНИЕ КОМПЛЕКСА ПАРАМЕТРОВ ОДНИМ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫМ ДАТЧИКОМ

В статье рассмотрена и обоснована возможность использования в стационарных информационно-измерительных системах для скважин с повышенными температурами тензорезистивных мостовых и полумостовых преобразователей на основе структур «кремний на сапфире» для одновременного измерения двух параметров. Ключевые слова:

тензорезистивный датчик, измерение параметров, тензомост, скважина

6

Известно, что изменение активного сопротивления реального тензорезистивного датчика АЯ.д

зависит от влияния комплекса физических величин и его можно представить в виде обобщенной функции [1, 2]:

^д = Зф.сЗд.сЗф.пЗк.п.) , (1)

где V - обобщенная функция преобразования; К - номинальное сопротивление резистивного преобразователя; БфС - вектор физических параметров объекта измерения (давление, температура, расход жидкости, удельное электрическое сопротивление жидкости, теплопроводность, диаметр скважины и

т.д.); Б

Д. с.

вектор динамических параметров

объекта измерения (скорость движения жидкости или газа, скорость измерения параметров объекта

измерения и т.д.,

Б„

вектор физических

свойств резистивного преобразователя; Б -

вектор конструктивных параметров резистивного преобразователя.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

Используя зависимость (1) и опираясь на принцип многоканальности (принцип инвариантности), можно

Ям, КО м

обеспечить инвариантность результата измерения к влияющим физическим величинам, а при необходимости и получить информацию об их значении.

Измерение нескольких физических величин одним резистивным датчиком рассмотрим на примере измерения одновременно двух физических величин (давления и температуры), используя физические свойства одного датчика. В настоящее время имеется большое количество различных полупроводниковых датчиков (ППД) [3], но наиболее ярко данный способ измерения иллюстрируется при использовании интегральных мостовых или полумостовых тензорезистивных датчиков давления структуры «кремний на сапфире» (КНС), обладающих лучшими метрологическими характеристиками и высокой стабильностью.

Функция преобразования ППД на основе структуры КНС при постоянной величине напряжения (тока) питания и постоянной температуре от давления в общем случае имеет вид:

иы = и0 + КР (2)

где и - значение выходного сигнала при давлении, равном нулю; К - коэффициент преобразования.

4,2

4,0

3,8

3,6

3,4

3,2

3,0

2,8

J

T=300OC

T=260OC

T=200OC

T=160OC

T=122OC

T=40OC

T=18OC

0 4 8 12 16 20 24 Р, МПа

Рисунок 1 - Зависимость сопротивления моста ППД RM = f(P) при T = T = const

Значения параметров ио и К в выражении (2) неизвестны и находятся экспериментально. В общем случае экспериментальные точки Р , ине совпадают с прямой вида (2). Наилучшим взаимным расположением экспериментальных точек и аппроксимирующей зависимости следует считать такое, при котором сумма квадратов расстояний ( по оси и ) от точек до аппроксимирующей зависимости минимальна (метод наименьших квадратов).

Таким образом, с помощью данного критерия можно получить семейство градуировочных характеристик (ГХ) ППД для различных значений температур.

В ППД величины и0 , К также значительно зависят от температуры и в линейном приближении их можно представить уравнениями:

U0 = aT + b ; K = cT + d .

Одним из основных свойств ППД является значительная зависимость выходного сопротивления моста К^ ППД от температуры. Сопротивление же К^ ППД незначительно изменяется от изменения

давления Р в диапазоне рабочих температур (влияние давления не превышает 0,5 - 3,0% и может учитываться введением поправки (рис. 1), но существенно зависит от температуры измеряемой среды, поэтому выходное сопротивление тензомоста Км можно представить в функции от Т

Км = Км(Т), (5)

которое в общем случае меняется нелинейно от температуры, но в линейном приближении можно также записать, что

Км = еТ + /. (6)

В выражениях (3), (4) и (6) а,Ь,с, (, е, / - коэффициенты, зависящие от индивидуальных свойств

которые находятся

получение (7)

U

ВЫХ

конкретных преобразователей, экспериментально.

Практический интерес представляет аналитической зависимости

Р = Р(ивьж, Км (Т)) ,

где Р - давление на выходе ППД, Мпа; напряжение на выходе ППД, МВ.

Найдем эту зависимость, решив совместно уравнения (3), (4), (6) и (2) относительно Р . Выразив в (3) и (4) значения температуры через К в соответствии с (6), имеем

КЛ/

U0 = a •

VM

-/

+ b ;

e

K = c •

rm - f

+ d .

Подставив в уравнение получим

значения

P =

c •

1 • Rm - f 1 + d

e e

Из выражения (10) видно, что величина Р деляется согласованным изменением величин

(10)

опре-

ин

и Rm . Погрешность результата зависит от погрешностей каждого измерения. При R^ = const (т.е. когда T = const ), выходное напряжение однозначно зависит от измеряемого давления P .

При изменении температуры ППД ( T = var ) значение выходного сопротивления мостовой схемы также меняется ( R^ = var ) и однозначная зависимость (10) нарушается. Найдем приращения сопро-

тивления

R

(или сопротивления плеча мостовой

AR

от изменения температуры

и прира-

щение сопротивления плеча мостовой схемы

AR,

от

изменения давления Р .

В ППД тензорезисторы (ТР) противоположных плеч мостовой схемы пытаются подогнать так, чтобы они получали одинаковые по величине приращения сопротивлений в функции давления, но с и каждый из ТР ППД должен

+APP

в

разными знаками

получать одинаковое приращение сопротивления функции температуры АR .

Зависимость сопротивления плеч тензорезисторов мостовой схемы ППД (или выходного сопротивления ) от температуры можно записать (в первом приближении ) в виде [4]:

r p,t ) = rph (1 + aat) , (11)

где R(pт) - значение сопротивления ТР при нуле-

T датчика; R.

вом давлении и при температуре

RPH

значение сопротивления ТР при нулевых давлении и температуре (номинальное значение); а - температурный коэффициент сопротивления ТР; АТ -приращение температуры ( АТ = Т — Т0 ).

Зависимость приращения активного сопротивления ТР от изменения давления АКр и радиальной составляющей деформации 8 можно представить как [5]:

АКр = К(РТ) К8 , (12)

где К - коэффициент тензочувствительности.

С учетом выражений (11) и (12) зависимости активных сопротивлений ТР, получающих при увеличении давления положительное приращение сопро-

К+ и отрицательное К

тивления

и отрицательное R , принимает вид

Rpj) = RPH (! + aAT) + RPH (1 + aAT)Ks ; Rh T ) = RPH (1 + aAT) - RPH (1 + aAT)Ks . (13)

Функциональный определитель системы (13) ра-

= 2(1 + aAT) ф 0 .

1 + аАТ 1 + К8 —1 — аАТ 1 — К8

Алгоритм решения системы уравнений (13) тельно АКр и АКГ следующий [6, 7].

Для определения значения АК операция сложения:

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

К+р т) + Крт) = 2Крн (1 + аАТ) = 2Кр^ + 2АКу

■14)

T производится

откуда

а значение

ART

R(P,T) + R-P,T) 2RPH

AR,

kp определяется отношением:

ARP

R

(P,T) R(P,T)

• RP

(15)

(16

К(Р,Т ) + К(Р,Т )

Таким образом, определив активное сопротивление ТР ( К+ и Щр ^ ) мостового или полумостового ППД и используя принцип многоканально-сти, можно вычислить приращение преобразуемых параметров - давления и температуры с обеспечением инвариантности к влияющим величинам.

Однако интегральным тензорезистивным преобразователям структур типа «кремний на изоляторе» свойственна, хотя и незначительная, интегральная нелинейность ГХ [3], а также значительная зависимость смещения нуля и чувствительности от температуры, что требует более тщательного рассмотрения характеристик первичных измерительных преобразователей давления на основе структур типа «кремний на сапфире» с целью определения возможности использования их в качестве многофункциональных для дистанционного измерения давления и температуры в холодных скважинах, с повышенной температурой и горячих и получения необходимых для этих целей метрологических характеристик.

ЛИТЕРАТУРА

1. Коловертнов Г.Ю., Ишинбаев Н.А., Краснов А.Н. и др. Измерительные системы с неселективными датчиками // Материалы XIII Научно-технической конференции Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления. - М.: МГИЭМ, 2001. - С.38-40.

2. Коловертнов Г.Ю., Краснов А.Н., Дамрин Е.С. Измерительные схемы скважинных манотермометров с резистивным датчиком давления. В сб. Измерительные преобразователи и информационные технологии. Вып. 1 - Уфа, УГАТУ, 1996. - С. 11 - 18.

3. Гридчин В.А., Любимский В.М., Сарина М.П. Тензопреобразователь для датчика давления на основе поликремния // Измерительная техника, 1991. - № 5. - С. 9 - 21.

4. Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. - М.: Энергоатомиздат, 1983. - 136 с.

5. Эрлер В., Вальтер Л. Электрические измерения неэлектрических величин полупроводниковыми тен-зорезисторами. - М.: Мир, 1974. - 285 с.

6. Патент № 2091578, РФ, 7 Е 21 В 47/06. Способ измерения давления и температуры в скважине одним датчиком и устройство для его осуществления / Г.Ю. Коловертнов, Е.С. Дамрин, А.Н. Краснов и др. да). - № 98118802, Заявл. 14.10.98; Опуб. - Бюл. 27.05.1997, №27.

7. Способ дистанционного измерения давления и температуры в скважине одним датчиком давления и устройство для его осуществления. Коловертнов Г.Ю., Краснов А.Н., Коловертнов Ю.Д., Дамрин Е.С., Федоров В.Н. RU. По заявке № 96105228/03 (009586). Дата поступления: 27.03.96, МПШЕ 21В 47/06.

e

и

a

2

T

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.