Моделирование стоимости производственного оборудования компьютеризованных минифабов СБИС Текст научной статьи по специальности «Прочие технологии»

УДК 621.382

А. А. Бубенников Моделирование стоимости производственного оборудования компьютеризованных минифабов СБИС

Оценка конкурентности современного кластерного производственного оборудования СБИС представляет собой очень актуальную задачу в свете всё возрастающей сложности и интеллектуальности перспективных "мегафабов" и "минифабов". В работе представлены модели, методы и алгоритмы моделирования стоимости производственного оборудования СБИС компьютеризованных полупроводниковых минифабов, использующих интеллектуальные САПР подготовки специализированного производства СБИС.

Показано, что для сравнения конкурентности того или иного производственного процессного оборудования по качеству, технологичности, стоимости, производительности под выбираемые варианты маршрутов изготовления КБИКМОП/КМОП субмикронных СБИС наиболее эффективно использовать модифицированные новейшие международные стандарты SEMI Е35-95,SEMI Е35.1-95,а также SEMI ЕЮ. Рассмотрены алгоритмы оптимизационной задачи сравнения качества и стоимости изготовления СБИС, обеспечивающих требуемый набор технико-эксплуатационных параметров, для различных типов производственного оборудования СБИС, а именно: минимизации полной стоимости производственного оборудования COO ,СОО = CEO + CYL, где CEO -стоимость собственно оборудования , CYL стоимость потерь выхода годных микросхем от влияния качества выбираемого процессного оборудования и от уровня привносимой им дефектности обрабатываемых пластин.

Используется алгоритм минимизации синтезированной целевой функции CEO, являющейся суммой двух компонент: фиксированной приведенной годовой стоимости оборудования на изготовление СБИС, СЕО(Ф),2) рекуррентной стоимости, возникающей из операционных, эксплуатационных затрат используемого оборудования CEO (Р).СЕО=СЕО (Ф) + CEO (Р).С использованием данных по отдельным аспектам технологии и экономики производства для стандартизации SEMI по модифицированным алгоритмам рассчитывались сравнительные факторы СЕО(Ф), СЕО(Р) а также CEO для конкурирующих процессных оборудований СБИС.

Представлены результаты выбора производственного процессного оборудования СБИС в рамках предложенного метода техноэкономической оптимизации целевой функции стоимостных затрат при обеспечении совокупности конкурентоспособных технико-эксплуатационных параметров микросхем.

УДК 621.382

А.Н. Бубенников, С. Б. Блинник

Программа временного адекватного макромоделирования СБИС для интеллектуальной многоуровневой САПР

Для возрастающих требований к автоматизированному интеллектуальному проектированию СБИС огромную актуальность приобретают методы адекватных экспресс-расчетов системного быстродействия фрагментов СБИС большой размерности с кардинальным уменьшением вычислительных затрат в численных экспериментах.

Представлено описание компактных и точных численно-аналитических временных моделей базовых элементоэ и фрагментов КМОП/КБИКМОП СБИС