Измерение коэффициента электромеханической связи тонких пьезоэлектрических пленок с помощью установки лазерного зондирования Текст научной статьи по специальности «Физика»

Предлагаемый метод разработки стоимостных моделей элементов (блоков, узлов) РЭА, основанный на установлении корреляционных зависимостей между ценой покупных изделий и техническими характеристиками функциональных узлов, обеспечивает достаточную для инженерных расчетов точность, наиболее полно отражает общественно необходимые затраты на разработку и изготовление узлов и может быть рекомендован для решения задач оптимизации РЭА па ранних стадиях разработки.

1. Китаев В. Е., Бокцнякв А. А. Расчет источников электропитания устройств •связи. М., Связь, 1979. 170 с.

Поступила в редколлегию 09.07.81

УДК 534.222

10. Н. БОРОДИН, мл. гш/ч. сотр., А. П. ЗАПУННЫЙ, инж., В. К. ЛОПУШЕНКО, ст. науч. сотр.

ИЗМЕРЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СВЯЗИ ТОНКИХ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК С ПОМОЩЬЮ УСТАНОВКИ ЛАЗЕРНОГО ЗОНДИРОВАНИЯ

Значение квадрата коэффициента электромеханической связи к'2 поверхностных акустических волн (ПАВ) с достаточной сте-

пенью точности определяется выражением [3]

¿2 = (2

(1)

где Ум и V — значения скоростей ПАВ в слоистой системе с металлизацией пьезоэлектрической пленки и без металлизации. Определить значения Ум и V можно с помощью установки лазерного зондирования по методике, описанной в работе [2], с точностью около 0,5 %,, что для малых значений коэффициента электромеханической связи (/е2<0,05) приводит . к погрешности определения к2 20 %-ь50 %.

Более точные результаты при определении /г2 дает метод, основанный на измерении разности скоростей (V—а не каждого из значений V и Уи в отдельности. Значение (У—Ум) можно определить, измерив сдвиг фаз ср поверхностных волн, прошедших участки слоистой системы одинаковой длины I, на одном из которых пленка пьезо-электрика металлизирована, а на другом нет. При этом

Ф = (2)

где со — частота ПАВ и выражение для расчета /г2 преобразуется

0,007

а 005

0.003

аоог

к виду

¿2 = (2<рУн)/(а>/).

(3)

Для определения /г2 ио выражению (3) необходимо сначала измерить скорость Ум, а затем в сечении у=1, перпендикулярном направлению распространения ПАВ, с помощью установки лазерного зондирования определить фазовый сдвиг ф. Анализ показывает, что с учетом погрешностей измерения ср, У„, ш и /, погрешность измерения /г2 по выражению (3) составляет около 5 %, что в три раза точнее, чем определение /г2 путем измерения параметров эквивалентной схемы встречно-штыревого преобразователя

М-

Описанная методика применялась нами при измерении к2 тонких пленок окиси цинка, нанесенных на подложки из плавленого кварца и термостабильного стекла С79-2.

Экспериментальные результаты, а также расчетные величины представлены на рисунке.

I. Андреев А. С., Анисимкин. В. И., Котелянский И. М. и др. Возбуждение поверхностных акустических волн в непьезоэлектриках встречно-шгыревыми преобразователями с пленками 2пО.— Микроэлектроника, 1980, т. 9, №3, с. 277— 279. 2. Гриц В. Г., Запунный А. П., Хаустов В. К. Измерение скорости поверхностных акустических волн оптическим фазочувствитсльным методом.— Всстн. Киев, политехи, ии-та. Радиотехника, 1980, вып. 17, с. 51—53. 3. I{арийский С. С. Устройства обработки сигналов на ультразвуковых поверхностных волнах. М., Сов. радио, 1975. 170 с.

Поступила в редколлегию 10.07.81

УДК 621.317.757

/' И. ВАСЮК, О. П. ЛЫСЕНКО, кандидаты теки, мяу/с, А. С. ТЕРПИЛЬ, студ.

О СРАВНИТЕЛЬНОЙ ЭКОНОМИЧНОСТИ БПФ С РАЗЛИЧНЫМ

ОСНОВАНИЕМ

В литература (например, [1, 3]) встречается утверждение, что по количеству нетривиальных умножений (не на ±1/2 и ±/) алгоритмы БПФ с основанием 4 и с основанием 8 более экономны, чем алгоритмы с основанием 2. На наш взгляд, это утверждение требует уточнения. Дело в том, что указанные авторы сравнивают алгоритмы с основанием 4 и 8 со стандартными алгоритмами е основанием 2, называемыми алгоритмами с прореживанием по времени или с прореживанием по частоте. Между тем, последние не являются наиболее экономичными среди алгоритмов с основанием 2.

В работе [2] описан алгоритм с основанием 2, являющийся «гибридом» по отношению к указанным известным алгоритмам. Сравнение этого варианта с алгоритмами с основанием 4 и 8 показывает, что он по количеству нетривиальных умножений идентичен двум последним, т. е. все три алгоритма равноценны.

Рассмотрим, например, 16-точечное БПФ ¿-го подмассива массива размером Лг=4'', где г — целое число, развернув его в виде