М. А. Голуб, Л. Л. Досколович, Н. Л. Казанский, В.А. Сойфер, С. и. Харитонов
ИССЛЕДОВАНИЕ ФОКУСАТОРОВ В ПРЯМОУГОЛЬНИК МЕТОДОМ ВЫЧИСЛИТЕЛЬНОГО ЭКСПЕРИМЕНТА
1. ВВЕДЕНИЕ
В задачах технология лазерного поверхностного упрочнения легирования материалов актуальной является фокусировка лазерного излучения в фокальную область прямоугольной формы. Задача фокусировки в узкий прямоугольник (отрезок прямой) рассматривалась в [1,2]. В работе приведен численный метод расчета фокусаторов в произвольную плоску» область и, в частности, в область прямоугольной формы. В данной работе предлагаются новые решения задачи фокусировки пучка круглого сечения Е прямоугольник с постоянной интенсивностью и проводится их анализ в рамках вычислительного эксперимента. Полученные оценки энергетической
эффективности и равномерности фокальной интенсивности позволяют подобрать рациональную фазовую функцию фокусатора при различных соотношениях размер3 прямоугольника с дифракционным разрешением.
2. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
Пусть лазерныйпучок круглого сечения радиуса R, с комплексной амплитудой wq (3)= /i0(3)' e^o(u), где I0(3) - интенсивность освещающего пучка, Р0(и) " фаза пучка, падает на круглый фокусатор с апертурой
G = |(u, v) | u2 + v2^ R2|, расположенный в плоскости il = (u, v) при z = О
(рис. 1), который преобразует падающее излучение в поле w0) =
= wq(u) exp [i<p(il)], где <р(\1) - фазовая функция фокусатора. Задача состоит в отыскании фазовой функции фокусатора р(3), обеспечивающей в фокальной плоскости z = f формирование светового поля с интенсивностью
1(5) = I1- 3е D
1 ; \0, иначе,
соответствующей равномерно засвеченному прямоугольнику
D = [-d; d] х [-d ; d ], где 3 = (x, у) - декартовы координаты в
фокальной плоскости.
3. РЕШЕНИЯ ОБРАТНОЙ ЗАДАЧИ ФОКУСИРОВКИ В ПРЯМОУГОЛЬНИК С ПОСТОЯННОЙ ИНТЕНСИВНОСТЬЮ
В работе [3] рассмотрен «метод согласованных прямоугольников* для численного расчета фокусаторов в плоские области. Согласно методу [3], при расчете фокусатора пучка круглого сечения в прямоугольник с постоянной интенсивностью апертура фокусатора С приближается набором апертурных прямоугольников
ио = - И.
ин = *•
прямоугольник фокусировки Э представляется набором фокальных прямоугольни-
ков
°1 = Сх|_1- х А - 1. Х0= ’ <*’ хм = а’
причем разбиение х^ 1 =1, N определяется из условия сохранения светового потока при распространении света из апертурного прямоугольника С1 в соответствующий фокальный прямоугольник 0^
Гг 2 и V* - и
Х. " Х>..+ 13" \ I 10(“-У)Чи *г. 1 = 1. N. (1)
1 и,-1
Фазовая функция фокусатора 9>(3) имеет вид:
н г г 2и-(и +и.)-. г V -1
»(4) -!;[*,(«.V) гее* [2<ц .„ |} ] гесь [ ^ ■ц2] + *,] - »0(Й).(а)
где <Р1 (и, V) - фазовая функция сегмента обеспечивающая
фокусировку в соответствующий фокальный прямоугольник ;
ге^ (X) = I1, 1Х1< 2
^0, иначе ;
<Р[ - фазовая добавка, выбираемая из условия непрерывности
вдоль оси и.
Фазовая функция (р(\1) терпит разрывы вдоль прямых и=1ь 1=*1, N.
В предельном случае Л и * 0, N + «, из (2) несложно получается непрерывная фазовая функция следующего вида:
Ч у ^
*><3) = г (- +| Х(е)ае + ^ I [ I - (3)
-Л,2- и2 -Л2- „г
где к = 2тг/А, X - длина волны.
£ Уп2- и2
Х = 2сГТ" I Г 10(и’у) Йи
1 1 *'
-Лг 2
-и
Фокусатор (3) будем называть «фокусатором с непрерывной фазовой
функциейэ. В случае гауссового освещающего пучка с комплексной амплитуД°*
->2 и
е И3 формулы (з) следует фазовая функция фокусатора в
прямоугольник, полученная в работе [4] .
Анализируя геометрооптическое распределение интенсивности в фокальной области
10(ц.у)
1(х. У) = -Г
£ !*>„: п" - <с>ч
можно видеть, что фазовая функция (3) не обеспечивает строго равномерного распределения интенсивности в фокальном прямоугольнике.
Поэтому важно проанализировать полученную фазовую функцию в рамках вычислительного эксперимента и сравнить полученный результат с другими способами формирования фокусатора пучка круглого сечения в прямоугольник.
Например, рассмотрим «фокусатор в прямоугольник с сегментами линз». Освещающий пучок будем считать факторизующимся,
»0(и,у) = 1*01(ц) *ог (V), 10(и, V) = Х01 (и) 102(У).
Апертуру фокусатора С предполагаем состоящей из сегментов Р , 1=1,5 (рис. 2). Фазовую функцию <р (3) сегмента Р определим согласно приведенному в работе [3] решению задачи фокусировки факторизуемого пучка квадратного сечения со стороной а в фокальный прямоугольник О с постоянным распределением интенсивности. Такой выбор <рр (^) в геометрооптическом приближении обеспечивает фокусировку в фокальную область, близкую к прямоугольнику со сглаженными углами. Поэтому фазовые функции сегментов
Р.. Р,Р , Р выбираются из условия фокусировки в точки, лежащие вблизи
2 3 4 5
Рис. 2. Фокусатор в прямоугольник с сегментами линз
- ИЗ -
углов фокального прямоугольника Б. Фазовая функция фокусатора в прямоугольник с сегментами линз имеет вид:
Конкретные значения а, с^, су могут быть определены в вычислительном эксперименте из условия лучшего качества фокального распределения интенсивности.
Другой способ формирования фокусатора - «фокусатор в прямоугольник из пересечения эллипсов». Апертуру фокусатора в предполагаем состоящей из четырех секторов круга і *1,4 (рис. 3). Фазовую функцию каждого сектора определяем из условия фокусировки в смещенную четверть эллипса, что
и С
+
1
(4)
1Р(3) =
V Є
1
где а - характерный размер сегмента .
(<3-сх)и + (<а-єу)у, иєР.
2
*р(3)= •
-(<і+е )и - ((3+Є )у, ЙеР
3
-(<3 +с )и + (сі -с )У, ЇІЄР
'їх7 ' 1 у !
х у
4
где с , е
смещения точек фокусировки относительно вершин фокального прямоугольника.
V
Рис. 3. Фокусатор в прямоугольник из пересечения эллипсов
обеспечивает в геонетрооптическом приближении фокусировку в «прямоугольник из пересечения эллипсов» (рис.4). Предполагается, что когда размер прямоугольника фокусировки составляет несколько дифракционных пятен, то из-за дифракционного размытия центральная часть прямоугольника фокусировки окажется заполненной и неравномерность распределения интенсивности будет не слишком велика. Фазовая функция «фокусатора в прямоугольник из пересечения эллипсов» имеет вид:
$(и, V) $(и, V) $(и, V)
$(и, V) + | [-йи+с^у]
Зек
(5)
V- г ^, 2 с1+1 ит1
где <р(и, V) =| - и 2 —2И~ и2+—2ЙУу " Фазовая Функция фо-
кусатора в эллипс с полуосями с1+1 и ^+1х, параметры 1х и 1у определяют степень перекрытия частей эллипсов в фокальной области.
Конкретные значения 1,1, обеспечивающие лучшее качество фокусировки, также определяются из результатов вычислительного эксперимента.
<1+1
4. ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫЙ ЭКСПЕРИМЕНТ Для расчета поля в фокальной области использовалось параксиальное приближение интеграла Кирхгофа
*7(3) = —2*£-£- ||уо(1!)ехр |\ #>(Й)] ехр (х-3)]а2Й,
(6)
где w(x) - комплексная амплитуда в плоскости фокусировки;
- фазовая функция фокусатора.
Использование даже параксиального приближения интеграла Кирхгофа не позволяет произвести аналитические расчеты поля от рассмотренных фокусато-ров. Поэтому для расчета интеграла (6) использовался численный метод работы [5], реализованный в рамках пакета прикладных программ [б].
Для характеристики качества фокального прямоугольника используются следующие величины: значения энергетической эффективности Е и среднеквадратичного отклонения интенсивности 5.
}{ 1(3)
Величина Е = -----——— характеризует долю энергии
Я м3»5 3
с
павшую в область фокусировки. Величина
* =т [ |б| Я(1(*> -!)2 аЧ¥
о
характеризует близость распределения интенсивности 1(х) к величине, где |Э| - площадь прямоугольника фокусировки, I = —
I о|
среднее значение интенсивности в области фокусировки. Моделирование проводилось для фокусаторов плоского пучка в прямоугольник с размерами (3 = 8 мм, <3^ 4 мм при следующих параметрах: И = 20,5 мм, £ = 800 мм, Л = 10, 6 мкм и в квадрат сЗ = с^= 1 мм при И = 9 мм, £ = 450 мм,
Л = 10, 6 мкм.
При фокусировке в прямоугольник 8 х 4 мм вычислительный эксперимент проводился для «фокусатора с непрерывной фазовой функцией» и для «фокусатора в прямоугольник с сегментами линз». Для «фокусатора с непрерывной фазовой функцией» энергетическая эффективность фокусировки составила 85, 6X, а среднеквадратичное отклонение интенсивности - 34,2%.
На рис.5 представлено трехмерное распределение интенсивности в фокальной области, а на рис.6 - изофоты трехмерного распределения интенсивности. В табл.1 для «фокусатора в прямоугольник с сегментами линз» приведены значения дифракционной эффективности Е и среднеквадратичного отклонения 5 в зависимости от параметров фазовой функции а,ех,еу. Для приведенных параметров наилучшее качество фокусировки Е = 82,2%, 5 - 37, 6/ достигается при а = 17 мм, с = 0, 2 мм, с = 0, 4 мм. На рис. 7
х у
представлено трехмерное распределение интенсивности от «фокусатора в прямоугольник с сегментами линз», на рис.8 - изофоты трехмерного распределения. Результаты вычислительного эксперимента подтверждают
пучка, по-
постоянной
Я1(5?>
Рис. 5. Распределение интенсивности в фокальной плоскости "фокусатора с непрерывной фазовой функцией" при фокусировке в прямоугольник 8 х 4 мм
Рис. 6. Изофоты распределения интенсивности в фокальной плоскости "фокусатора с непрерывной фазовой функцией" при фокусировке в прямоугольник 8x4 мм
Таблица 1
Е, */. 8, / а, мм Є , мм X с , мм У
75 42, 6 16 0, 3 0, 3
62 35 14 0 0
77, 7 53, 3 16 0, 4 0, 4
81, 5 39, 2 17 0, 4 0, 4
81 39 17 1, 7 0, 4
83 44 17 0, 33 0, 8
82, 2 37, 6 17 о го 0, 4
81 40, 3 17 0, 3 0, 3
Рис. 7. Распределение интенсивности в фокальной плоскости "фокусатора в прямоугольник с сегментами линз" при фокусировке в прямоугольник 8x4 мм
работоспособность обоих фокусаторов, но по энергетической эффективности и равномерности предпочтительным является «фокусатор с непрерывной фазовой функцией». При фокусировке в квадрат 1 х 1 мм вычислительный эксперимент проводился для «фокусатора с непрерывной фазовой функцией» и для «фокусатора в прямоугольник из пересечения эллипсов». При указанных параметрах размер стороны квадрата фокусировки составляет всего 4т), где т) = \fZ2R - размер дифракционного пятна. Для «фокусатора с непрерывной фазовой функцией» энергетическая эффективность фокусировки составила 77,2%, а среднеквадратичное отклонение интенсивности - 67,1%. На рис. 9 представлено трехмерное распределение интенсивности в фокальной области, а на рис. 10 - изофоты трехмерного распределения. В табл. 2 для «фокусатора в прямоугольник из пересечения эллипсов» приведены значения дифракционной эффективности Е и среднеквадратичного отклонения 6 в зависимое-
ф \
Таблица 2
Рис.
10. Изофоты распределения интенсивности в фокальной плоскости "фокусатора с непрерывной фазовой функцией" при фокусировке в прямоугольник 1x1 мм
ти от параметра фазовой функции 1 = 1 , характеризующего степень перекры-
X у
тия частей эллипсов.
Лучшее качество фокусировки Е = 72, 6/, 5 = 64У, достигается при
1^= 1 * О, 5 мм. На рис. 11 приведено трехмерное распределение интенсивнос-
ти «фокусатора в прямоугольник из пересечения эллипсов>, на рис. 12 - изо-
Рис. И. Распределение интенсивности в фокальной области "фокусатора в прямоугольник из пересечения эллипсов" при фокусировке в прямоугольник 1x1 мм
/
)
) ч
Рис. 12. Изофоты распределения интенсивности в фокальной области "фокусатора в прямоугольник из пересечения эллипсов" в прямоугольник 1x1 мм
Результаты вычислительного эксперимента позволяют сделать вывод, что «фокусатор с непрерывной фазовой функцией» и «фокусатор в прямоугольник из пересечения эллипсов» не позволяют с приемлемым качеством сфокусировать излучение в квадрат, размер стороны которого составляет несколько дифракционных пятен. Таким образом, для расчета фокусаторов в прямоугольник порядка дифракционного размера 7) требуется разработка специальных методов, учитывающих дифракционные эффекты. В то же время рассмотренные геометрооптические фокусаторы обеспечивают хорошую фокусировку когерентного излучения в прямоугольник с размерами, в 10 - 100 раз превышающими размер дифракционного пятна.
Литература
1. Голуб М. А., Казанский Н.Л., Сисакян и.Н, Сойфер В. А. Вычислительный эксперимент с элементами плоской оптики. // Автометрия, 1988, N 1, с. 70 - 82.
2. Голуб М. А., Казанский Н.Л., Сисакян и.Н., Сойфер В. А.,
Харитонов С. и. Дифракционный расчет интенсивности поля вблизи
фокальной линии. /./ Оптика и спектроскопия, 1989, т. 67, вып. 6, с. 1387 - 1389.,
3. Голуб М. А., Досколович Л. Л., Казанский Н.Л., Сиса-
кян и.Н., Сойфер В. А., Харитонов С. и. Метод согласованных прямоугольников для расчета фокусаторов в плоскую область. //
Компьютерная оптика, наст, выпуск.
4. А.С. 1314291, бюлл. изобр. И откр. N 20 от 30.05.87.
5. Казанский Н.Л. Исследование дифракционных характеристик фокусатора в кольцо методом вычислительного эксперимента. // Компьютерная оптика,наст, выпуск.
6. Голуб М. А., Карпеев С. В., Михайлов С. В., Сергеев В. В., Сойфер В. А. , Тахтаров Я.Е., Храмов А. Г. // Государственный фонд
алгоритмов и программ. Рег. N П004582 от 01.09.80.