CC BY
40
.
Тематичекий выпуск
Краткие сообщения
УДК 621.373.8.002
EX. Зам бург, В. В. Пташник ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ ПОДЛОЖКИ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ ЛАЗЕРНОМ ОСАЖДЕНИИ НА МОРФОЛОГИЮ ПЛЁНОК ZnO*
Цепью работы является изучение влияния температуры подложки на среднюю площадь и объем зерен пленок оксида цинка, полученных методом импульсного лазерного осаждения на многофункциональном нанотехнологическом сверхвысоковакуумном комплексе НАНОФАБ НТК-9 для формирования нанокристаллических пленок оксида цинка с контролируемым размером зерна необходимых для разработки конструкции и технологии создания приборов наноэлектроники;
Нанотехнологии; импульсное лазерное осаждение; оксид цинка.
E.G. Zamburg, V.V. Ptashnik INFLUENCE OF SUBSTRATE TEMPERATURE AT PULSE LASERDEPOSITION ON MORPHOLOGY OF ZnO FILMS
The work purpose is studying of influence of substrate temperature on the grains average area and volume of zinc oxide films, produced by a method of pulse laser deposition on multipurpose nanotecnologycal UHV complex of NANOFAB NTF-9 for formation nanocrystal zinc oxide films with the controllable size of grain necessary for working out of a design and creation technology of a nanoelectronics devices;
Nanotechnologies; pulse laser deposition; zinc oxide.
Несмотря на то, что ZnO не является новым материалом для микроэлектроники и исследуется на протяжении нескольких десятилетий, интерес к исследо-
ZnO, ,
вырос в последнее время. Одной из важнейших характеристик нанокристалличе-ZnO , -
, , подложки [1]. Экспериментальные исследования проводились с использованием модуля импульсного лазерного осаждения комплекса НАНОФАБ. Результаты исследова-
ZnO . 1.
,
ZnO ,
подложках. Это может быть объяснено увеличением энергии границ зерен [2].
, , -ZnO .
Полученные результаты могут быть использованы для разработки технологии создания приборов наноэлектроники.
* Работа выполнена при поддержке государственным контрактом № 14.740.11.0520 от 1 октября 2010 г., заключенным в рамках ФЦП «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 гг.
Средняя площадь, нм
Краткие сообщения
Температура, *С
а
Температура,
б
Рис. 1. Зависимости средней площади (а) и объема (б) зерен пленок ZnO от температуры подложки при НЛО на кремниевых и стеклянных подложках
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1. . ., . .
модуле импульсного лазерного осаждения нанотехнологического комплекса НЛНОФЛБ НТК-9 // Сборник тезисов докладов Всероссийской молодежной школы-семинара «Нанотехнологии и инновации - 2009». - С. 20.
2. . ., . . : монография. - М.: Изд-во Машиностроение-1, 2007. - С. 55.
Статью рекомендовал к опубликованию д.т.н., профессор А.С. Кужаров.
Замбург Евгений Геннадьевич
Технологический институт федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Южный федеральный университет» в г. Таганроге.
E-mail: [email protected].
347928, . , . , 2.
.: 88634371611.
Кафедра технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры; аспирант.
Пташник Виталий Витальевич E-mail: [email protected].
Кафедра технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры; аспирант.
Zamburg Evgeniy Genad'evich
Taganrog Institute of Technology - Federal State-Owned Autonomy Educational Establishment of Higher Vocational Education “Southern Federal University”.
E-mail: [email protected].
2, Shevchenko Street, Taganrog, 347928, Russia.
Phone: +78634371611.
The Department of Micro- and Nanoelecronics; Postgraduate Student.
Ptashnik Vitaliy Vital’evich
E-mail: [email protected].
The Department of Micro- and Nanoelecronics; Postgraduate Student.
