CC BY
16
Таблица 1
ГОСТ О со Si Scp интервалы анализов Сэ Зн-ия Ki Расчеты С(со)расч
1 0,001- 0,001 72 56 0,001-0,01 0,001
-0,2 0,01 141 56 0,01-0,1 0,01 1,09 0,0108
Ni 0,1 224 63 0,1
2 0,001- 0,002 54 41 0,001-0,01 0,002
-0,05 0,009 93 41 0,01-0,1 0,009 1,14 0,0088
Fe 0,05 155 45 0,05
3 0,0005- 0,0005 20 5 0,0005-0,003 0,0005
-0,003 0,003 67 4 0,003-0,12 0,003 0,70 0,0029
Bi 0,01 112 5 0,0105
4 0,8-3 0,63 158 4 0,6-3 0,63 0,92
1,48 172 4 1,41
Pb 2,17 184 6 2,13
5 0,05-1 0,048 81 9 0,04-0,13 0,048
0,092 112 9 0,13-1 0,092 0,60 0,09
Ni 0,207 146 10 0,205
6 0,05-0,5 0,029 57 5 0,025-0,09 0,029
0,078 98 7 0,09-0,5 0,078 0,65 0,07
Si 0,178 135 7 0,176
ЛИТЕРАТУРА
1. Никитенко Б.Ф., Казаковы.С., Кузнецов A.A. Разработка и использование автоматизированных измерительных систем в спектральном анализе. -М.:НТЦ, «Информ-техника», 1990,80 с.
2. Никитенко Б.Ф., Казаков Н.С. Информационно-измерительные системы в атомно-эмиссионном спектральном анализе, ч.2, (Автоматизированный метод контрольного эталона для всего диапазона анализа), //Дефектоскопия, N5,1998, с. 58-78.
П Д. АЛЕКСЕЕВ Н.И.АЛЕКСЕЕВА Н.В. ДУРМАНОВ
Омский государственный технический университет
УДК 621.315.55
Одним из перспективных материалов для применения в пьезотехнике является алюминий, Он отвечает основным требованиям, предъявляемым, в частности, к материалам электродных покрытий для высокочастотных кварцевых резонаторов:
- высокой электропроводностью,
- малой миграционной подвижностью атомов,
- достаточно высокой адгезией к поверхности кварцевых подложек.
- малым удельным весом [1].
ОДИНЕЦ Александр Ильич - доцент кафедры "Радиотехнические устройства и системы диагностики" Омского государственного технического университета, к.т.н.
КАЗАКОВ Николай Степанович - зам. директора ООО "НИИ Автоматизация", к.т.н.
РУДЕНКО Евгений Григорьевич- генеральный директор ОАО "Омскагрегат", к.т.н.
Тонкопленочные покрытия из алюминия получают в настоящее время в основном двумя способами: термовакуумного и ионно-плазменного, в частности, магнетронно-го осаждения.
Пленки, полученные методом термовакуумного осаждения, имеют удельное сопротивление, близкое к сопротивлению исходного объемного алюминия [2], что является достоинством метода. Однако, эти пленки обладают недостаточно высокой адгезией к поверхности подложки, метод характеризуется возможностью выброса капель
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ С УЛУЧШЕННОЙ ПРОВОДИМОСТЬЮ_
ПРИВЕДЕНЫ РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ ПЛЕНОК АЛЮМИНИЯ, ЛЕГИРОВАННЫХ МЕДЬЮ, С УЛУЧШЕННОЙ ПРОВОДИМОСТЬЮ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ
алюминия из расплава и осаждением их на поверхности подложек, что ухудшает качество алюминиевых пленок.
От этих недостатков свободен метод магнетронного осаждения, который очень широко применяется в настоящее время. Однако удельное сопротивление алюминиевых пленок, получаемых этим методом, превышает удельное сопротивление исходного материала мишени.
В связи с этим нами была проведена работа по получению алюминиевых покрытий с повышенной проводимостью, осаждаемых методом магнетронного распыления.
Известно, что одним из способов улучшения физических характеристик пленок алюминия является легирование их добавками кремния, титана или меди в небольших количествах [3].
Нами была изготовлена составная мишень из алюминия и меди.Медные диски малой площади были запрессованы в мишень из алюминия. В одном случае медь составила 1 % от зоны эрозии мишени из алюминия, в другом случае - 2%.
Для осаждения пленок применяли магнетрон пленарного типа, работающий на постоянном токе. Пленки наносили на подложки из ситалла в режиме вращения подлож-кодержателя в горизонтальной плоскости. Параметры
технологического процесса осаждения пленок приведены в таблице 1.
В результате проведенной работы были получены экспериментальные зависимости удельного поверхностного сопротивления от толщины алюминиевых покрытий с содержанием меди и без нее, полученных методом магнетронного осаждения, которые приведены на рис.1. Зависимости наглядно показывают, что удельное поверхностное сопротивление пленок алюминия снижается при увеличении содержания в них меди.
Экспериментальные данные позволяют сделать следующий вывод: проводимость алюминиевых покрытий, легированных медью, возрастает с увеличением процентного содержания в них меди. Указанные покрытия, полученные методом магнетронного осаждения, имеют существенно лучшую адгезию к поверхности диэлектрических подложек, в частности, кварцевых, по сравнению с покрытиями, полученными методом термовакуумного осаждения. Пленки алюминия, легированные медью, полученные методом магнетронного осаждения, возможно использовать для электродных покрытий для высокочастотных кварцевых резонаторов, а также для коммутации в интегральных микросхемах.
Параметры технологического процесса осаждения пленок Al-Cu
Таблица 1
Остаточное давление в рабочей камере, Па Рабочее давление аргона в камере, Па Температура подложки, С° Ток катода магнетрона, А Скорость осаждения, м км/мин Напряжение катод-анод, В
110' (4-5)10' 100 2 0,025 500
0.07
0.12
0.15
0.18
Толщина, мкм
А! —А—А!+Си( 1%) —А— А1+Щ2%) |
Рис.1. Зависимость удельного поверхностного сопротивления от толщины алюминиевых пленок
с различным содержанием меди
ЛИТЕРАТУРА
1. КибиревС.Н., Зима. В Н., Алексеева Н.И., Дурманов Н.В. Высокочастотные фильтровые кварцевые резонаторы с алюминиевыми электродами. - Омск, Техника средств связи, 1998, стр. 95-99.
2. Корж И.А., Столетов И.С., Зима В.Н., Еремин И.А. Получение пленок алюминия методом распыления для устройств на ПАВ. - Омск, Техника средств связи, 1987, выпуск^ стр. 104-109
3. Горлов М.И. Геронтология интегральных схем: дол-
говечность алюминиевой металлизации. - Петербургский журнал электроники, 1997, № 1, стр. 26-37
АЛЕКСЕЕВ Петр Демидович - доктор физ.-мат.наук, профессор, зав. кафедрой технологии электронной аппаратуры.
АЛЕКСЕЕВА Наталья Ильинична - кандидат технических наук, доцент кафедры технологии электронной аппаратуры.
ДУРМАНОВ Николай Викторович - аспирант кафедры технологии электронной аппаратуры.
