Научная статья на тему 'Разработка малогабаритного ударного стенда для испытаний микромеханических датчиков'

Разработка малогабаритного ударного стенда для испытаний микромеханических датчиков Текст научной статьи по специальности «Электротехника, электронная техника, информационные технологии»

CC BY
290
76
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.
Ключевые слова
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП / MICROMECHANICAL GYRO / УДАР / IMPACT / СТЕНД / BENCH / УСКОРЕНИЕ / ACCELERATION

Аннотация научной статьи по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям, автор научной работы — Елисеев Даниил Павлович, Серебряков Валентин Павлович, Чапурский Алексей Петрович

Обоснована возможность создания малогабаритного ударного стенда для испытаний микромеханических датчиков на ударные импульсы высоких уровней (тысячи g), разработаны методики выбора принципиальных и схемных решений. Рассчитаны основные параметры разрабатываемого стенда, показана возможность достижения ускорения более 10000 g при сравнительно небольших скоростях соударения и допустимой длительности удара. Предварительные расчеты показали, что при расширении пределов изменения параметров стенда и оптимизации конструкции, можно повысить уровень воспроизводимых ускорений в 3-4 раза.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по электротехнике, электронной технике, информационным технологиям , автор научной работы — Елисеев Даниил Павлович, Серебряков Валентин Павлович, Чапурский Алексей Петрович

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

DEVELOPMENT OF SMALL-SIZE SHOCK BENCH FOR MEMS TESTING

Development capability of small-size shock bench for MEMS testing on resistance to high impacts (thousands of G's) has been justified; selection methods of fundamental and structural solutions have been designed. General features of developed bench have been calculated and ability to reach acceleration over than 10000 G on relatively low-speed collisions with acceptable impulse duration has been proved. Preliminary computations have shown that limits expansion of measured bench parameters and structure optimization could sufficiently increase level of reproduced acceleration in 3-4 times.

Текст научной работы на тему «Разработка малогабаритного ударного стенда для испытаний микромеханических датчиков»

нерации лазера только на длине волны 2,81 мкм, наиболее близкой к центру пика поглощения воды в составе биотканей [3], в резонатор лазера должен быть установлен спектрально-селективный элемент, увеличивающий потери для длин волн, лежащих в коротковолновой области контура усиления. В качестве такого элемента может быть использовано выходное зеркало 6 с селективным коэффициентом отражения в требуемой области спектра. Коэффициент отражения селективного зеркала 6, примененного в данной работе, на рабочей длине волны 2,81 мкм составлял 0,92, монотонно убывая в коротковолновой области спектра до значения 0,5 на длине волны 2,66 мкм.

В эксперименте были получены моноимпульсы с энергией 2,9 мДж, длительностью 30 нс (рис. 2) и пиковой мощностью 96 кВт. Длина волны генерации составляла 2,81 мкм. Время задержки начала генерации относительно начала импульса накачки составляло 450 мкс. При увеличении длительности импульса накачки до 800 мкс наблюдалась генерация серии из трех моноимпульсов общей энергией 6,7 мДж.

Работа выполнена в рамках аналитической ведомственной целевой программы «Развитие научного потенциала высшей школы», грант № РНП 2.1.2/4302.

1. Akimov V.A., Frolov M.P., Korostelin Yu.V., Kozlovsky V.I., Landman A.I., Podmar'kov Yu.P., Voronov A.A. Vapour growth of II-VI single crystals doped by transition metals for mid-infrared lasers // Phys.Stat.Sol. (c). - 2006. - V. 3. - № 4. - Р. 1213-1216.

2. Shori R.K., Walston A.A., Stafsudd O.M., Fried D., Walsh J.T. Quantification and Modeling of the Dynamic Changes in the Absorption Coefficient of Water at X = 2,94 |im // IEEE J. on selected topics in quant. electron. - 2001. - V. 7(6). - Р. 959-970.

3. Жилина В.С., Сачков Д.Ю., Храмов В.Ю. О многочастотной генерации EnYLF-лазера с диодной накачкой и пассивным FeiZnSe-затвором // Научно-технический вестник СПбГУ ИТМО. - 2010. - Т. 66. - № 2. - С. 124.

Дубинкин Илья Николаевич - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, студент, [email protected]

Иночкин Михаил Владимирович - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, кандидат физ.-мат. наук, старший научный сотрудник, [email protected] Лонщакова Наталья Игоревна - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, студент, [email protected]

Назаров Вячеслав Валерьевич - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, кандидат технических наук, старший научный сотрудник, [email protected] Сачков Дмитрий Юрьевич - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, аспирант, [email protected]

Хлопонин Леонид Викторович - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, кандидат технических наук, старший научный сотрудник, [email protected] Храмов Валерий Юрьевич - Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, доктор технических наук, профессор, зав. кафедрой, [email protected]

УДК 531.383.001.4

РАЗРАБОТКА МАЛОГАБАРИТНОГО УДАРНОГО СТЕНДА ДЛЯ ИСПЫТАНИЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ Д.П. Елисеев, В.П. Серебряков, А.П. Чапурский

Обоснована возможность создания малогабаритного ударного стенда для испытаний микромеханических датчиков на ударные импульсы высоких уровней (тысячи g), разработаны методики выбора принципиальных и схемных решений. Рассчитаны основные параметры разрабатываемого стенда, показана возможность достижения ускорения более 10000 g при сравнительно небольших скоростях соударения и допустимой длительности удара. Предварительные расчеты показали, что при расширении пределов изменения параметров стенда и оптимизации конструкции, можно повысить уровень воспроизводимых ускорений в 3-4 раза. Ключевые слова: микромеханический гироскоп, удар, стенд, ускорение.

В настоящее время микромеханические инерциальные датчики (гироскопы и акселерометры) выпускаются серийно и нашли широкое применение. Малые массы и габариты, низкое энергопотребление и невысокая стоимость микромеханических датчиков создают возможности их использования в широком классе систем навигации и управлении движением [1]. Расширение областей их применения требует повышения их ударопрочности и ударостойкости. Реальные уровни этих показателей должны подтверждаться испытаниями. Испытания обычно требуются на многих этапах отработки опытных образцов.

Существующее испытательное оборудование, стенды для испытаний не приспособлены для оперативных испытаний микромеханических приборов, их громоздкие конструкции создавались для испытаний крупногабаритных приборов и комплексов. Эти установки занимают большие площади и потребляют много электроэнергии, проведение испытаний на них требует значительных временных и финансовых затрат. Такое оборудование не позволяет оперативно, на последовательных этапах разработки, осуществлять испытания вновь создаваемых или усовершенствованных вариантов микромеханических при-

боров. Вследствие значительных габаритов и необходимости обеспечения большой грузоподъемности стенды не позволяют получать ударные ускорения выше 2000 g. Дополнительно серьезные трудности возникают и при полунатурном моделировании, когда часть функций преобразования сигналов от собственной электроники прибора передается компьютеру.

Для отечественного приборостроения актуальной является необходимость создания испытательного оборудования, которое давало бы возможность оперативно проводить механические испытания миниатюрных приборов в любых помещениях, на малых площадях, без привлечения специального персонала. На основе проведенных предварительных исследований в работе будет показано, что для испытаний на короткие удары имеются реальные возможности создания и разработки таких малогабаритных стендов для испытаний, например, однокомпонентных микромеханических микроскопов (ММГ) [2], которые могли бы устанавливаться на столе, но при этом позволяли бы воспроизводить ударные ускорения более 10000 ^

Ударные воздействия с большими пиковыми значениями перегрузок (103 g-105 g и более) характерны для подвижных объектов, быстро набирающих большие скорости (порядка 103 м/с). На всех известных ударных стендах ударный импульс создается при торможении на коротком расстоянии от существенно меньшей набранной скорости. Выполнение при испытаниях на стендах обоих указанных условий (большие ускорения и большие приращения скорости), для чего необходимы большие длительности ударных импульсов (секунда или десятые доли секунды), практически невозможно. Однако длительность ударных импульсов на малогабаритные датчики с высокими собственными частотами можно значительно сокращать, сохраняя количественную меру воздействия. При представлении механических свойств микромеханического прибора, как колебательной системы с низшей собственной частотой ю0 показано [3], что условие эквивалентности по деформациям при воздействии ударных импульсов длительности Т имеет вид ю0Т < М, где М - безразмерное число порядка десяти. Иначе говоря, при сохранении того же эффекта ударного воздействия, длительность импульса может быть сокращена в десятки раз, до десятых миллисекунды. При этом соответствующее приращение скорости должно быть порядка десятков метров в секунду, что возможно получить на малогабаритных стендах. Для воспроизведения необходимых ударных импульсов предложено использовать в конструкции стенда энергию сжатых пружин (рисунок).

Рисунок. Модель конструкции ударного стенда: 1 - привод; 2 - пружины запуска; 3 - пружины торможения;

4 - ММГ; 5 - стол; 6 - задвижка; 7 - наковальня; 8 - подушка; 9 - основание

В представленной схеме приводом 1 при помощи троса подтягивается стол 5 с установленными микромеханическими датчиками 4. Тем самым максимально сжимаются пружины 2, которые являются механизмом запуска. Для фиксации стола во взведенном состоянии служит задвижка 6, освобождающая энергию пружин при готовности к эксперименту. При ударе стол контактирует с наковальней 7 через подушку 8, вся система дополнительно амортизируются пружинами 3. Очевидно, что стол будет совершать несколько движений и отскоков, что, в свою очередь, сильно исказит задаваемую форму ударного импульса. Для исключения этого эффекта необходимо предусмотреть запорный механизм. В предложенной схеме эту роль играет задвижка.

Требуемый ударный импульс создается при торможении на коротком пути с помощью специальных средств, таких как регулируемая подушка, пружины запуска и амортизационные пружины.

Для моделирования ударного воздействия рассчитаны отталкивающие пружины, основные параметры которых представлены в таблице. При сравнительно небольших размерах пружин можно получить скорость подвижной части перед ударом около 40 м/с.

Моделирование посредством модуля Mechanism программы Pro/ENGINEER показало, что при допустимой длительности удара 0,5 мс представляется возможным получить максимальное значение ударного ускорения в несколько раз больше 5000 g. Можно предполагать, что при расширении пределов изменения задаваемых параметров и за счет оптимизации конструкции можно значительно повысить уровень воспроизводимых ускорений. Подлежащие разработке настольные стенды с такими характеристиками при хорошей конструктивной проработке позволят удовлетворить потребности испытаний на удар

малогабаритных датчиков и микроэлектронных устройств и превзойти характеристики отечественных и зарубежных ударных стендов.

№ Параметр пружины № варианта

1 2 3

1 Наружный диаметр пружины, мм 55 50 50

2 Диаметр проволоки, мм 10,0 6,5 6,0

3 Полное число витков 18 18 18

4 Макс. усилие сжатия, Н 8222 2500 1870

5 Макс. касат. напряжение, МПа 1270 1233 1170

6 Масса пружины, кг 1,6 0,67 0,55

7 Жесткость пружины, Н/мм 65 12,5 10

8 Скорость перед ударом, м/с 43 31 20

9 Максимально возможное ускорение при «длинном» ударе, £ (м/с2) 15000g (150000) 10500g (105000) 17000 g (170000)

10 Тормозной путь, мм 21 16 14

Таблица. Параметры конструкции стенда

Для проектировщиков и наладчиков микромеханических датчиков, в первую очередь ММГ, необходимо иметь малогабаритные стенды, на которых можно было бы оперативно проводить испытания вновь изобретаемых или усовершенствованных датчиков. Показана реальная возможность создания таких стендов для исследования ударостойкости.

Разработана конструкция ударного стенда, рассчитаны характеристики стенда, включая параметры пружин, скорость перемещения стола, достигаемое линейное ускорение, массогабаритные характеристики. Выполнено моделирование движения стола, которое показало достижимость заявленных параметров. Приведенные данные свидетельствуют о реализуемости выдвинутых положений. Работа выполнена при поддержке гранта РФФИ, проект 10-08-00153-а.

1. Евстифеев М.И. Проблемы расчета и проектирования микромеханических гироскопов // Гироскопия и навигация. - 2004. - № 1. - С. 27-39.

2. Пешехонов В.Г. Микромеханический гироскоп, разрабатываемый в ЦНИИ «Электроприбор» // Меха-троника, автоматизация, управление. - 2008. - № 2. - С. 29-31.

3. Челпанов И.Б. Автоматические технологические машины и оборудование. Испытания машин. - СПб: СПбГПУ, 2008. - 296 с.

Елисеев Даниил Павлович - ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», инженер-конструктор, [email protected] Серебряков Валентин Павлович - ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», инженер-конструктор, [email protected]

Чапурский Алексей Петрович - ОАО «Концерн «ЦНИИ «Электроприбор», инженер-конструктор, [email protected] УДК 658.5.011

СОЗДАНИЕ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ДЕТАЛИ В СРЕДЕ CAD-СИСТЕМЫ

Д.Д. Куликов, В.С. Бабанин

Рассматриваются возможности использования CAD-систем при проектировании параметрических моделей деталей. Представлен макрос, позволяющий разрабатывать параметрические модели в системе CATIA V5. Описан способ сохранения информации о параметрической модели из CAD-системы в систему автоматизированного проектирования технологических процессов.

Ключевые слова: конструктивный элемент, параметрическая модель детали, комплексный элемент, трехмерная аннотация, XML-документ.

Одной из важнейших задач, связанных с повышением уровня автоматизации систем автоматизированного проектирования технологических процессов (САПР ТП), является задача интеграции САПР ТП с CAD-системой, в среде которой создается 3D-модель детали. Сложность задачи вызвана сложностью распознавания конструктивных элементов (КЭ), к которым привык технолог (канавки, пазы, уступы, отверстия и т.д.), причем использование нейтральных форматов типа STEP и IGES практически не облегчает задачу распознавания КЭ [1]. Ввод в САПР ТП информации о КЭ детали позволяет использовать типовые планы обработки (ТПО) для этих КЭ и, следовательно, автоматически определять содержание технологических переходов. Использование ТПО позволяет на 30-40% уменьшить трудоемкость проектирования технологии изготовления деталей приборов и машин.

Один из возможных подходов заключается в параметрическом моделировании деталей. В этом случае создается параметрическая модель детали (ПМД), содержащая ее описание, включая КЭ детали. На базе такого подхода на кафедре технологии приборостроения была создана система «ТИС-Деталь», в которой описание детали выражается в виде иерархии фреймов, позволяющих создавать ПМД с любой степенью детализации [2]. Синтаксически ПМД представляет собой XML-документ, хранение которого может выполняться в удаленной базе знаний. Программное ядро системы «ТИС-Деталь» - это web-

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.