Научная статья на тему 'Прогнозирование равномерности осаждения гальванических покрытий'

Прогнозирование равномерности осаждения гальванических покрытий Текст научной статьи по специальности «Технологии материалов»

CC BY
70
28
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Аннотация научной статьи по технологиям материалов, автор научной работы — Помогаев В. М., Волкович А. В., Петроченкова И. В., Шувакин А. Е.

Установлено, что интегральный критерий рассеивающей способности по металлу, в целом верно отражая связь равномерности и рассеивающей способности по металлу, не всегда позволяет с достаточной точностью оценить распределение металла. Предложен локальный критерий рассеивающей способности, учитывающий особенности зависимости изменения скорости осаждения металла от плотности тока. Показано, что в диапазоне рассеивающей способности от 0 и до 100% при оценке распределения более нагруженных участков катода и от 15% и более при оценке менее нагруженных током участков предложенный критерий достаточно точно описывает равномерность покрытия.

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Похожие темы научных работ по технологиям материалов , автор научной работы — Помогаев В. М., Волкович А. В., Петроченкова И. В., Шувакин А. Е.

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.
i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.

Uniformity of electroplate deposition prediction

It has been established that integral criteria of scattering ability on metal reflected the interconnection between uniformity and scattering ability generally right. But this criterion allowed to estimate metal distribution with acceptable accuracy not always. A local criterion of scattering ability has been proposed. This criterion took into account peculiarities of change of metal deposition rate dependence on current density. It has been shown that the criterion proposed described a cover uniformity quit exactly at a scattering ability range from 0 up to 100% under the distribution estimation of more loaded cathode parts and from 15% and more under estimation of less current loaded parts.

Текст научной работы на тему «Прогнозирование равномерности осаждения гальванических покрытий»

до вычитания Л/Щ)^.^ а элементам с номерами 1 >} присваиваются нулевые значения. Таким об-

ралом, сверяясь с равенством объемов, лашшае-мых веем материалом в пространстве аппаратов цилиндрической и конической формы, было получено начальное распределение материала но ячейкам конического аппарата«

^ И ИНГ 11гП/ • * Г ■ 1И ^ Л il«. 1«

л. Расиpe,icjicmic массы (а) п шннеитрашш |0) магершоа m? вмеше аппарата коинчеешн *|юрмм, (I пт&шкк ржщж-

леленис, 2 распределение в установившемся режиме), HgJ. M;iss uO and concentrai ¿un |б) cibliibyiion on fhe corn cal Ibnn dcvíce hcight. ! in an imlial ihsinhuiiorb 2 is distribuí Um al

a ^taliunarv comimans.

Vi о л раскрытия конуса принимался ным 50€\ Распределения масс и концентраций материала по высоте аппарата конической формы представлены на рис. За и 36 соответственно.

Таким обратом, предложена нелинейная модель, позволяющая получить распределения концентрации п скоростей частиц по высоте аппарата в установившемся режиме. С помощью модели может быть исследован и переходный режим, а также уточнено шаченне скорости начала пеевдоожижепня и критической скорости уноса материала m аппарата,

Л И Т Е Р Л Т У Р Л

Кшан В Ai. - Теорешчес&ие основы типовых î хпхттхшт гсхнологни. Учеб, поетте для сгулентов хим.нех налоги* г снен.. вушв, лЛ,; Химия, lv>??< 5^1 с< Крем мм Н,ф. I J|H>iic€Cb! и жптрты в технологии сфошслышх маге риалов; Учеб. для нумш ии ctictt «Jljv во ефшп, у.ислнй н консфукцин» /Мл Высыпая школа. 1986. 2X0 с,

Минтоп В.К., Ушаков í А\ Дфо/шшшичеекзя класен* фttKimm тцчтшип, ■ Мл Химия. 169с,

Гсльнермн Aííhümchh В.Г^ Ктпт В.К, / Оспи-

ны 1СХШЖИ исснлоожижсиня. /Мл Химик. 1%?, 664с.

:лра прикладной ма гемш икн

В*М* Псшошев, Л.В. Волков и чч ИЛ1 Мегроченкова, Л.Ё. Шувакнн ПРОГНОЗИРОВАНИЕ РАВНОМЕРНОСТИ ОСАЖДЕНИЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

(Нономосковскин институт РХТУ нм.ДЛМенделеева)

K-mail: pomouaev^MmiLru

Угшшш^л^/^* «шш интегральный критерий рассеивающей способности по металлу, и целом верно отражая свяп* равномерности и рассеивающей способности по металлу, не всегда позволяет с достаточной точностью оцепить распределение металла* Предложен локальный критерий рассеивающей способности, учитывающий особенности зависимости изменения скорости осаждения металла от плотности тока. Пока ш но, что & диапазоне рассеивающей способности от 0 и до 100% при оценке распределения более нагруженных участков катода и от 15% и более при оценке менее погруженных током участков предложенный критерий достаточно точно описывает равномерность покрытия.

Равномерность распределения металла при одной т важнейших характеристик, определяю-осаждении гальванических покрытий является тих качество и свойства тгнх покрытий,

ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2007 том 50 выи 3

103

го го, равномерность распределения тока определяет эффективность электрохимической защиты, материальный тнос при коррозии металлов. Повышение равномерности распределения тока и металла позволяет решить ряд прикладных тдач: улучшение качества гальванических покрытии (структуры осадка, прочности его сцепления, коррозионной стойкости, внешнего вида и тлп); по-вышенне лкономической эффективности эдектро-осаждения металлов, анодных процессов, ллек-троаштеза; снижение расхода цветных и благородных металлов. В свою очередь, распределение ■тока и металла по поверхности электрода определяется рассеивающей способностью электролита. Целью данной работы является изучение влияния плотности тока и рассеивающей способное! н электролита по металлу на равномерность распределение Металла и возможность иропнтшровашш локальною распределения тока и металла.

Измерения проводили в xéckiролитах ни-и меднения (табл. 1). Исследуемые шты относится к разным, с точки прения равномерности, электрохимическим системам и по своим показателям охватывают практически

■Cl»

весь днаиаюи таких свойств, присущих промынь ленным электролитам, как рассеивающая СПОСОБНОСТЬ ÜO току, электронроводзннггь, ПОДЯрИ'ШШЯ и

1ШК!ПЦй /

Составы 'ыектролитов и режимы работы ТаЫе / EClectroIvtc compositions md operatingcdmJttiriEis

у .у,>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.>.'1,1,1,1 'II >U¿................. ы »sssss» > ^fcw. W.s<^sss>.sssssssU.U.U.U.U. г лмм 1А AUJ V AU. V AU.U. W >|»>|| | .......... > >. ........м М rt I rt I • I ■! I lYl1!. W.........АМЛМЛМ " * ¿ * VlVl*.........и-у^

ocnm же&пюл ítra I жаннс, и, А дм" l í,

В качестве критериев, определяющих равномерность покрытия были выбраны: интегральный критерии рассеивающей способности РС (уравнение I) и два дифференциальных критерия ЬШш(уравнение 2) и Ь|Ш.Ч (уравнение 3). основанные на соотношении экстремальных и средних значе-

нии скорости осаждения металла. Применение этих критериев, на наш взгляд* позволило более точно сравнить свойства ллектролитов*

% t?

РС = { 1

S} i

' 100%

(1)

\a

И

i

П -- i

h = M..... f M

" mm

П

/ ó

" mач * n

(2) (3)

" ~ тач

Для оценки зависимости равномерности распределения тока от рассеивающей способности по току была рассчитана зависимость Р€\ от критерия электрохимического подобия и значения критерия Ьтш и Ь,шч для щелевых ячеек Молера с различными значениями 1/Ъ от 1,3 до 4. Ячейки с соотношением 1/Ъ от 1,3 до 1,8 применяются для моделирования детален прости конфигурации, с соотношением Ш от 2,1 до 2,8 дли деталей средней конфигурации, с соотношением ///? от 3,5 до 4 сложной конфигурации.

Рассеивающую способность, распределение тока н металла в щелевой ячейке оценивали по методике, предложенной в работах [К 2). Ус-таиовка еосюит пт следующих основных частей: щелевой ячейки, электродов и блока для измерения распределения тока. Щелевая ячейка наиболее удобна для измерения рассеивающей способности при невысоких плотностях тока (до 5А/дм"К даст наименьшую погрешность. Электроды представляли собой металлические пластины *п нержавеющей стали размером 100x9,5x0,5мм, С обратной стороны электроды маркировали. Анодом служил металл, соответствующий осаждаемому на катоде- Форма, размеры, положение его в анодном пространстве и щелевой ячейке произвольное.

Распределение тока оценивали по падению напряжения на калиброванных сопротивлениях, нключешшх последовательно в цепь каждого ллектрода катодного блока.

Результаты измерения минимальной и максимальной скорости осаждения меди (рис. К 2К интегрального и дифференциального критерия равномерности (табл. 2, 3) в различных ячейках (для примера приведены данные в стандартной ¡пеленой с ячейке ///? - 2,35) покатали, что инте-гралинып критерии рассеивающей еиосооиости, в целом верно отражая с вяль равномерности и РСм, не всегда позволяет оценить локальную скорость осаждения. Наиболее яркий пример аммиакат-ныи >лсктролит меднения.

i 04

ХИМИЯ И ХМММЧР.СКДЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2007 шм so выи. 3

lfftitr i i l

Ш; К1' ы H M

УМ

||ЦЦ|,|.ШШ11|| ^ ll l I I,.....

0 0Л $ r.i > :<3 v з. А/ЙМ5

РиЫ, Минимальная скорое п* осаждения меди на наиболее улалешюм or щеми участке катода тежтт ячейки Милср^ (номер кривом соопкп'ешуег номеру ^леноролита I) Ftg. 1. Minimal copper deposition rate for Hie most 1шнн.1ыа?кс sbilcd МЫегЧ cell cathode pari from l he spin of (curve number

>er IVi.mi

nies me cic<

¿3 V

1 ■.'> ' CI v>

'J. >• I.- ii 4 1 Ф

Рис,2, Максимальная скорость оеаждетня мели ма наиболее улалешюм т ¡мели участке каюла щелевой ячейки Mujepa <номер кривой соигиекл иусч номеру ^.^скцюлти икы. 11

Maximal copper depoMUon rate Ibrihc шоsi long-dislaoce sUued Mofei's ceH cathode part from the split of(curve number appropriates the electrolyte number from Table 1 )

Таблица 2

Рассеивающая способность и показатели равномер-мости сернокислог о и амшшкатшн о электролитов меднения (ячейка Модера Mr—235) Table 2 Scattering ability and uniformity factors for

j[Moler4 cell with l/h—2,35)

Имея рассеивающую способность но металлу больше, чем у сернокислого электролита, он, тем не менее, отличается меньшей скоростью осаждения и равномерностью распределения металла на труднодоступных участках катода.

Изучение чаи не и мост и равномерности распределения металла от РС электролитов но ме-

таллу показало, что иаолюдаются значительные отклонения от монотонной зависимости локальной равномерности распределения металла и РСЧ

на последних катодных секциях (рис, 3, малых значениях PC отклонение от рассчитанной кривой достигает 2<

Твбяицй 3

Рассеивающая способность и показатели равиомер-мости пирофосфа! ного и цианистог о электролитов меднения (ячейка Мол ера И*-2.35). ТаЫе 3 Scattering ability and uniformity factors for pyrophosphate and cyanide electrolytes for copper coating (Moler's cell with l/h=235).

S.niHClUI! ),8СКГ|>ОЛИП 11ироф<»сс|шныи ^лаСфШИТ

UH;a- л j % 1 b„n ] PCm. %

^ ' 1.....Л5,1 "1

wTTjo.fHt ПРьТ ahS

~5 ! .</ o.5'> 2.25

0,62

-1WIIXXYXYf MVV^ A

4?,К

Bill им

'? 4

s

(U7

:i:ix>xixixixix

U«AsWMAUskk« «Vi I rtW.'X

M Ь H

4i

<.,/8 J

Рис, Чшшашосгь bmm or рассеивающем способности no металлу. ! ■■ расчетная щулпm\ Ш* 'женерименпшлше лай

|>шшоп л scattering ашшу on a metal, i is calculated curve; points are experimental data.

«V Л

о

4C1

%

Рис 4 Ч;нтснмоеи» bm-i, os рассеивающей еиоеоож.кти ¡ш иыу. 1 расчетная крннаж жшеримент^лыше

липпыс

k Dcpendciicc bfru„ on scallenng ab^iiy on metal * 1 ^

iНе можете найти то, что вам нужно? Попробуйте сервис подбора литературы.

j к

- nrc с

ХИМИЯ И ХИМИЧ1:СКДЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2007 том 50 ныи, 3 105

учета особенности изменения скорости осаждения металла от плотности тока предлагается использовать локальный критерий РС Величина локальной РС оценивается но с л еду км нем у

РС

s W

(1

а

11? V

* 100%

В уравнении (4) Ц, - значение распределения металла, рассчитанное по величине РС.\4, а Ь, • реальное распределение металла на контролируе мом участке. Для проверки возможности использования предложенного критерия дли оценки рав номерностн был проведен расчет Ьтт в адвисимо-етн от локального значения рассеивающей способности, Результаты расчет приведены на рис. 5-

4 0

о/

Рис. Зависимость Ь^„п or локальном расссшэдвдшсн епошб«

нос г и 1жк цшхшхт но металлу. 1 .....кривая, иолу четпт рас-

четным нулем: Я - экспериментальные д^тше Fig3. Dependence b,mi} on a local electrolyte scattering ability on a meuil. I is calculated curve; pomb are e>

Результаты намерений и расчетов показали. что в дшшалонс рассеивающей способности от 0 и до I 00% при оценке распределения более нагруженных участков катода и от 15% и более при оценке менее нагруженных током участков пред* ложелтып критерий удовлетворительно согласуется с -жхпернмеитальиымн данными. Относительная погрешность оценки как так н Ьтт не превышает 3%. Вместе с тем следует отметить, что при прогнозировании при малых значениях рассей наш те и способности (менее 15%) ошибка может достигать 50%.

Таким образом, в работе показано* что ни-тегралышп критерии рассеивающей способности но металлу, в целом верно отражая с вяль равномерности и РСм. не всегда позволяет оценить распределение металла и локальную скорость осаждения. 11ре;рожен критерии Р(\ учитывающий особенности изменения скорости осаждения металла от плотности тока. Показано, что относительная погрешность опенки как Ьшш так и не превышает 3%. практически но всем диапазоне рассеивающей способности.

Л ИТ КРАТУРА.

Г Начинок ГЛ„ Кудрявцев ИЛ -'Итоги науки и тсхни» . Сер Электрохимия, М.: ВИНИТИ. ¡479. Г 15.

РМ^б,

тткум 1 ш ггриклзлпон меклрохимпи: Учебное пособие л ли пулов/ (гяхчисаряйшиш {юриеопзебааш ЮЛ. Нуркаг Г. К. Пол | усл. Кулртиспл В Л Г Ж: Химия, с.

С

Кафелра технологий -шектрешши чески х нроггшолсш

106

ХИМИЯ И ХИМИЧПСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 200? том 50 выа 3

i Надоели баннеры? Вы всегда можете отключить рекламу.