Г.Н. Жиосин, С.А. Киселев3 Л.А. КузиКу В.А. Яковлев
МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИНТЕРФЕРЕНЦИИ ПЭВ И ОБЪЕМНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
Поверхностная электромагнитная волна (ПЭВ) является чувствительным зондом при исследовании свойств приповерхностных слоев металлов, так как ее амплитуда максимальна на поверхности. Из измерений затухания ПЭВ можно получить коэффициент поглощения в металле [1] и определить мнимую часть комплексного эффективного показателя преломления. Фазовая спектроскопия ПЭВ [2] позволяет определять действительную часть эффективного показателя преломления, используя интерференционные измерения набега фазы поверхностной волны.
Схема эксперимента представлена на рис; 1. Излучение падает на зазор между металлом и экраном, дифрагирует на нем, частично преобразуется в ПЭВ. ПЭВ распространяется по поверхности металла до края и на краю преобразуется в объемную волну, которая интерферирует с волной, дифрагированной на зазоре. Распределение интенсивности интерференционной картины регистрируется на линии, перпендикулярной плоскости металла и на некотором расстоянии от края.
г" <Х\2' а ^^ 2• 2
///////, / ь
Рис. 1. Образование интерференционной картины при апертурном возбуждении ПЭВ
Расчет распределения интенсивности в интерференционной картине был проведен в два этапа. Сначала была рассмотрена задача о распространении ПЭВ и дифрагированного излучения в рамках импедансного приближения над металлом. ПЭВ распространяется по поверхности 2=0, которая характеризуется импедансом
2 = Я - IX = /1/е (И,Х > 0) , (1)
где е - диэлектрическая проницаемость среды.
Рассматривается ТМ - поляризованное монохроматическое излучение с частотой V. Отличными от 0 компонентами являются Н^, Ех, Е2. Задача вычисления поля сводится к определению Н , а Е и Е вычисляются из урав-
у X 2
нений Максвелла. ПЭВ возбуждается на зазоре высотой ¿1 в плоскости х = 0. Относительно оси у задача трансляционно инвариантна. В области распространения ПЭВ необходимо решить волновое уравнение
□ Н(х,г,и = 0 (2)
с граничным условием Леонтовича [3] для сред с большим е Эн
+ Исгн =* О при г = 0, (3)
где к = 2тп> - волновой вектор.
Начальное условие - возбуждающее поле на щели 0 < т. < <3 V0(z) = А"1*®8 + Ве1**2 . (4)
Решение ищется в виде:
Н(х,2,С) = У(х,г)е1кх"1а*. (5)
Тогда уравнение (2) сводится к уравнению диффузии с коэффициентом диффузии Э = л. / 2к :
граничное условие принимает вид: ЭУ
(6)
(7)
^ + = 0 при г = 0.
Формализм решения параболического уравнения (6) подробно описан в монографии [3]. Решение его можно записать в виде:
(8)
где
С(х,г-г') = ехр
Не (г-г 1) 2 1тх 2х 4~
- функция Грина;
УоСг') - начальное условие, которое соответствующим образом продолжено в область г < 0 с учетом граничного условия.
Для начального условия (4) продолженное начальное условие имеет вид: 0, г > с!
0 < г < <3
Ае~1ка2 + Ве1ка2 Уо(2) = < А2С| е±ка2 - е"1ка2 + 22 ( А
а+г
22 (А
1-е
а-г
(а+г)с!
В )е~1к22, -¿<2<0
а+г а-г В . „-)е 1К , г < -Д.
(9)
V
а+г ~ а-г
Подставив (9) в (8), получим решение параболического уравнения:
(х,2) = 4 е(т"^)2[Ае"2р^ W(p+т-0 + Ве2рС Н(-р+т-С)] +
Ве
.е 2р£
Ае
р-о
р+о
•)2оЮ(о+т+£) -
_ А6-2р£ - ве2р£ и(р+т+с:
р+О р-о
+ 4ет2[(— ~ —)2oW(о+т) + - А)К(р+т) +
2 [ р+а Р-О р-о
+ (А^ - В)*(-р+Т>
(10)
где
2 /к^ Т " е х/~ ,
о = е1? гЩ. >
. _ /Тех
Р - е а / "2~
. тх
r х4 d /кх
S = е xJTT ,
Е2 2i ^ л2
W(g) = е — / е dn - интегральная функция комплексного аргу-/it i°°
мента.
Предположим, что на зазор падает плоская волна, тогда А = 1, В = 0, а = 0 в (4), а решение можно записать следующим образом:
V (х, z) = |е(т"^)2 W(x-£) + e(T+^)2(-W(o+T+S) +
+ -jW(t+£) + eT2(W(o+x) - W(t)). (11)
Решение (11), полученное в импедансном приближении, справедливо для х, удовлетворяющих неравенству
« тх, (12)
что в эксперименте хорошо выполняется для металлов (е~103) , х-10 см,
в области v - Ю00 см"1.
Был проведен модельный расчет поля вблизи поверхности металла для
металла с v = 80000 см~1, v = 800 см"*1 при зазоре d = 60 мкм для час-
Р •
тоты v = 1000 см"1.
Импеданс металла вычисляется по формулам:
X =
R =
v
2
(1 + -4-)* + 1
V2
i
/2 v
Р (13)
/2 v
Р
v2
(1 + -4-)*
V2
Распределение поля, вычисленное по формуле (11), аналогично распределению поля при дифракции Фраунгофера на щели 2d, так что направления
на минимумы удовлетворяют условию:
0 =
и1 2d '
где
1 — 1,2,..., X - длина волны.
Однако присутствие импедансной плоскости приводит к тому, что нулевой дифракционный максимум разделяется на ПЭВ и "скользящую" объемную волну. Распределения поля вблизи поверхности представлены на рис. 2 для разных расстояний а от возбуждающей диафрагмы. ПЭВ локализована у поверхности металла и затухает, распространяясь вдоль поверхности. Максимум объемного излучения удаляется от поверхности с увеличением расстояния, а минимум, отделяющий его от ПЭВ, находится вблизи поверхности. Если проследить за фазой ПЭВ, можно заметить, что она отличается от фазы ПЭВ,
0.1 -
0.05
0.05
0.02
х = 1.2 см
х = 1.8 см
600
1200 мкм
х = 3.6 см
т
300
600 мкм
Рис. 2. Распределение интенсивности излучения вблизи поверхности по вертикальной координате для различных расстояний а от возбуждающей щели
распространяющейся по поверхности без влияния на нее объемного дифрагированного излучения. Это дополнительная фаза определяется размером возбуждающей диафрагмы ¿1, параметрами металла и расстоянием от возбуждающей диафрагмы а. Но ее можно считать постоянной в некотором диапазоне изменения а.
Рассчитав поле на краю образца, можно вычислить распределение интенсивности интерференционной картины на оси г, пользуясь принципом Гюйгенса. Поле ищем в виде интеграла Кирхгофа [4]:
\7 Р» НО ^
Ну(х/2) =
где
г. е /ас
8тхк
ЭН Эп
-Пег ~ ~1к
Ё--Н -
у Эп
/г
(14)
С - контур, охватывающий точку (х, г); г - расстояние от точки до контура. Выберем контур, проходящий по оси г' и замыкающийся на бесконечности.